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截止时间：****-**-** **:**:**
申购单号：****************** 签约时间：发布竞价结果后*天内签约合同
申购主题：**** 送货时间：合同签订后*天内送达
采购单位：****魏桥国科高等技术研究院 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****省/****市/****区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：******
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
申购明细：
序号：*
采购内容：****
数量：*
预算单价：台
品牌：不限
型号：不限
规格参数：（*）等离子源频率**.***** 射频，功率*-****可调； （*）腔体材质为石英，容积不小于**； （*）最少*路处理气体气路，且气体流量可调； （*）含真空泵，工作真空度不高于** **； （*）控制系统***自动控制，具有紧急停止按钮等；（*）*寸触摸屏，可图形化曲线图自动监测工艺参数状态及存储工艺数据；（*）具有门感应器和真空互锁功能。
质保及售后服务：至少*年免费维保和备件免费更换，且在设备出现故障后可提供远程技术支持。